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JEOL正式发布扫描电镜、电子探针用软X射线分析谱仪

导读: 日本电子株式会社(JEOL)近期发布了扫描电镜和电子探针用软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer),将扫描电镜和电子探针对材料分析水平、能力和精度大大扩宽。

  日本电子株式会社(JEOL)近期发布了扫描电镜和电子探针用软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer),将扫描电镜和电子探针对材料分析水平、能力和精度大大扩宽。

  电子光学仪器上发射的电子束与样品发生复杂的交互作用,产生各种信号,收集不同信号进行分析,可以获得样品的各种不同信息。软X射线分析谱仪就是通过采集样品上被激发出来的软X信号进行分析的仪器。它的能量分辨率为0.3eV,远高于能谱仪(EDS)和波谱仪(WDS)的分辨率;对轻元素的定量分析非常准确,比如B元素的检出极限可达20ppm;还可以进行元素价态分析。将扫描电镜从以侧重图像为主的仪器变身为图像、成分、价态均可清晰表达的超级分析仪器。也将电子探针的分析能力大幅度提升。

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