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SMI推出具有超长稳定性的MEMS超低差压传感器

导读: Silicon Microstructures, Inc.(SMI)推出了SM933X系列超低MEMS压力传感器系统。这款完全温度补偿和压力校准的系列压力传感器,压力范围低至125 Pa(0.50 inH2O),能够为HVAC(暖通空调)、工业和医疗应用提供精准的压力传感。

SMI推出具有超长稳定性的MEMS超低差压传感器

据麦姆斯咨询报道,Silicon Microstructures, Inc.(SMI)推出了SM933X系列超低MEMS压力传感器系统。这款完全温度补偿和压力校准的系列压力传感器,压力范围低至125 Pa(0.50 inH2O),能够为HVAC(暖通空调)、工业和医疗应用提供精准的压力传感。SMI通过将其独有的MEMS压力换能器和最先进的信号调理IC整合在一个封装中,实现了行业领先的输出精度(1%FS)和长期稳定性。

该系列差压传感器系统提供两种配置:压力范围为+/- 125 Pa(0.50 inH2O)的SM9333,以及压力范围为+/- 250 Pa(1 inH2O)的SM9336。其16位分辨率能够解析低至0.0038 Pa的信号。此外,其卓越的预热性能和长期稳定性,进一步确保了使用寿命内的预期性能。

SMI推出具有超长稳定性的MEMS超低差压传感器

SMI新款SM933X系列超低MEMS压力传感器的性能优势

SM933X系统供电电压范围为3.0~5.5 V,凭借其低电流消耗和睡眠模式,非常适合低功耗应用。其ASIC架构和更高阶的滤噪功能,提供了低噪声和极低的EMI敏感度。

采用具有双垂直端口的小型SO16封装,使其便于系统集成和压力连接,此外,其MEMS传感器本身爆裂压力高,坚固耐用,几乎没有安装或振动敏感度。

主要应用:HVAC、CPAP以及压力变送器

SM933X系列传感器是流量传感应用的最佳解决方案,无论管道长度如何,均可提供卓越的高性能表现,且不受气流中的颗粒物影响。它非常适于作为HVAC传感器,确定可变风量(VAV)中的空气流量,以及检测过滤器的清洁度(例如空气处理单元AHU中的过滤器)。

在医疗应用市场,超低压力传感器常用于CPAP(持续正压通气,呼吸机)流量传感。SM933X系列传感器凭借对安装方向不敏感,以及高分辨率和低噪声性能,使其更易于在CPAP流量传感器中集成和使用。此外,SM933X系列传感器改进了工业应用中的压力测量,利用一个小型封装中的单个传感器系统,替代了昂贵、笨重的多组件设备,并提供了长期的稳定性。其主要应用包括压力变送器和压力开关。

“SMI从90年代中期开始一直处于MEMS低压传感器领域的领先位置,凭借SM933X系列的推出,该公司希望在该领域继续领先下一个十年,”SMI总裁兼首席执行官Omar Abed说,“我们收到了来自主要客户的非常积极的反馈,我们相信这一新产品系列的推出,将为2 inH2O以下超低压力传感器树立新的标杆,并在医疗和工业领域的流量和超低压应用中引入新一波创新浪潮。”

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