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“扫描探针显微镜漂移测量方法”国际标准发布

导读: 日前,由中国科学技术大学工程科学学院黄文浩教授主持制订的国际标准“扫描探针显微镜漂移测量方法(ISO11039:2012)”已由国际标准化组织正式发布。

  日前,由中国科学技术大学工程科学学院黄文浩教授主持制订的国际标准“扫描探针显微镜漂移测量方法(ISO11039:2012)”已由国际标准化组织正式发布。

  自20世纪80年代扫描探针显微镜(Scanning-probe microscopy,SPM)发明以来,由于其具有原子量级的分辨能力,极大地促进了纳米科学技术的发展,并已逐步形成了一种高新技术产业。SPM的工作原理是通过微小探针在样品表面进行扫描,将探针与样品表面间的相互作用转换为表面形貌和特性图像。由于扫描速率较慢,漂移现象在扫描过程中普遍存在,这制约了SPM在纳米测量和纳米加工方面的进一步应用。

  该标准定义了描述SPM在X、Y和Z方向的漂移速率的专业术语,规定了SPM漂移速率的测量方法和测量程序,对仪器的功能和工作环境以及测量报告内容均作了严格要求。该标准为SPM仪器生产厂家制定了漂移速率的有效参数规格,并且能帮助用户了解仪器的稳定性,以便设计有效的实验。该标准不仅适用于基于SPM测量图像的漂移速率评价方法,对其它纳米级测量仪器稳定性的评价也有着重要参考价值。

  相关研究工作受到国家自然科学基金、中科院知识创新工程重要方向性项目和科技部973项目资助。

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