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洁净室空气洁净度测试及方法

导读: 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。

  一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试:

  (一)空态、静态测试

  空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。

  静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。

  (二)动态测试 洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

  洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

  三、空态、静态测试

  (一)测试前的准备

  1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

  2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

  当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。

  (二)测试内容

  1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;

  2、洁净室压力值;

  3、层流洁净室断面风速和气流流向;

  4、洁净工作区的洁净度;

  5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;

  6、洁净室内噪声。

  (三)洁净工作区空气洁净度的测试方法 对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法:

  1、光散射粒子计数器采样量 100级:每次采样量大于或等于1升。 l,000级-l0,000级:每次采样量大于或等于0.3升。 100,000级:每次采样量大于或等于0.1升。 对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试; 如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

  2、采样注意事项:

  (1)采样管必须干净,连接处严禁渗漏。

  (2)采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于1.5米。

  (3)采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。

  (4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。

  3、测点布置

  (l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米

  (2)层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5~2.0米,粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。

  (3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。 每增加20-50平方米,增加3--5个测点。

  4、数据整理

  (1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。

  (2)对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净室取各测点的平均值。

  (四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。

  四、动态测试。 在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。

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