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卡尔·蔡司全球首发AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜

2012-09-02 09:14
木中君
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  2012年8月29日,在北京国际材料工艺设备、科学仪器展(CIAMITE 2012)召开之际,卡尔•蔡司举行了AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜系统新品全球首发仪式。来自科研院所高校150多位专家学者参加了此次新品发布会。

 

卡尔•蔡司负责人与嘉宾共同启动新品发布仪式

  聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)系统是利用电镜将液态金属离子源产生的离子聚焦成尺寸非常小的离子束,在电场的作用下离子束与样品产生物理碰撞,来达到切割(蚀刻)样品的目的。聚焦离子束电镜是指在离子束切割的同时利用电子束观察影像,同时也可配备能谱进行样品表面的元素分析。离子束显微镜也可以为透射电镜制作厚度达十几纳米的样品薄片。

  卡尔•蔡司新推出的AURIGA系列聚焦离子束显微镜是由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成,具备高分辨率成像功能。AURIGA系列包含AURIGA Compact、AURIGA、AURIGA 60、AURIGA Laser四款产品。此次发布的AURIGA Compact FIB-SEM系统可以对材料实现高分辨三维纳米尺度成像和精确的材料加工及纳米组装。

  AURIGA Compact GEMINI透镜设计可以在FIB切割的同时同步高分辨成像,样品的倾斜不会影响电子光学性能。AURIGA Compact具有的稳定性和效率,足以支持自动采集成百上千的EBSD剖面图谱。CrossBeam工作站的ASP系统支持自动制备TEM样品和进行断面切割。卡尔•蔡司独有的X2技术,可以制备面积较大薄片样品,厚度小于10nm。

 

卡尔•蔡司中国区总裁兼CEO Maximilian Foerst先生

  卡尔•蔡司中国区总裁兼CEO Maximilian Foerst先生在致辞中表示,这次活动对于卡尔•蔡司非常重要,这是卡尔•蔡司首次在中国举行新产品全球首发仪式,同时也证明了中国的客户和市场对于卡尔•蔡司非常重要。去年,卡尔•蔡司集团的收入超过了42亿欧元,其中卡尔•蔡司中国公司的收入超过15亿人民币,并且建立了拥有超过30位研发人员的研发中心。随后Maximilian Foerst介绍了卡尔•蔡司集团以及卡尔•蔡司中国公司的总体发展情况。

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