MEMS
MEMS一般指微机电系统。微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技查看详情>术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
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MEMS传感器在接触式传声器听诊器中的应用
心血管疾病在人群中发病率越来越高，且呈现年轻化态势，严重威胁人类身体健康．心音是反映心脏生理及病理的一项重要指标，目前对心音的听诊仍然是心脑血管疾病的主要诊断手段。但是，传统的听诊器存在很多不足，传统的医用听诊器无放大作用，声音微弱，塞在耳朵里很不舒服，受环境噪声的影响也较大
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