P22系列一维θx压电偏转镜
P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转的压电偏转镜／快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及零静态阻力、优异的导向精度，提供亚微弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达6mrad， 具有极快的响应速度（毫秒至微秒级），非常适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及振动消除等）及光学和样品的静态定位。
特点
一维θx轴偏转
偏转角度达3mrad
亚毫秒响应时间
闭环定位精度高
应用
图像处理与稳定
激光扫描
隔行扫描、抖动
光学滤波器／开关
光束偏转
样品检测
运动方式
P22系列压电偏转镜如下图所示安装时，它产生上下俯仰运动，如下图所示。
安装固定与镜片粘接
P22系列压电偏转镜的镜片负载面为φ15mm的平面，镜片通过粘接方式固定于该面，我们可为您将镜片粘接好，便于您后续使用，收到压电偏转镜后只需安装，即可使用。
P22．U3S压电偏转镜在底端具有两个用于固定的M3安装螺纹孔。
结构原理与控制
P22．U3S偏转镜的移动平面由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用芯明天差分驱动压电偏转镜。
一个输出通道的压电控制器即可驱动P22．U3S压电偏转镜，可选用芯明天E53．D压电控制器，体积小，功能全，具有闭环伺服控制功能，可通过外部模拟信号或计算机软件进行控制，操作便捷、易于集成。
技术参数
型号：P22．U3S
运动自由度：θx
标称行程（0～120V）：2．5mrad（≈ 520秒）
行程范围（0～150V）：3mrad（≈ 600秒）
传感器类型：SGS
闭／开环分辨率：0．3／0．1μrad
闭环线性度：0．2％F．S．
闭环重复定位精度：0．15％F．S．
空载谐振频率：3kHz
闭／开环空载阶跃时间：3／0．8ms
空载频率（10％行程）：100Hz
空载频率（100％行程）：40Hz
静电容量：1．8μF
材质：钢
重量：80g
注：以上参数是采用 E00／E01系列压电控制器测得。
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