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压电陶瓷致动器的直线运动应用

压电陶瓷致动器做为相关应用首选技术时,通常要求运动几纳米或更高的分辨率,亚毫米或微米级行程范围的应用在线性运动中并不少见。为了说明这一点,下面是一些行业和应用的例子,在这些行业和应用中,压电陶瓷致动器通常是最佳解决方案。

微升和纳升分配

当需要分配微升或纳升体积时,它需要非常精确的运动来控制分配,由压电陶瓷致动器促动隔膜泵或阀门是一种常见的解决方案。通过给压电陶瓷施加电压,改变其位移的大小和速率,从而达到微升或纳升分配的目的。压电致动器的位移决定分配体积,致动器的工作频率控制流量,压电陶瓷致动器具有分辨率高、体积小易于集成、功耗低等优点。

压电陶瓷致动器的直线运动应用

微定位和纳米定位

在显微镜、诊断和高精度制造应用中,通常需要纳米级的分辨率。例如,导光板加工需要将加工刀头定位在距离工件只有几微米的距离,在高频率和亚纳米分辨率的范围内进行加工运动。压电陶瓷致动器是为数不多的能够满足这些要求的运动装置之一,其高谐振频率为控制回路提供了稳定性。

压电陶瓷致动器的直线运动应用

减震抑振

压电堆叠致动器可以输出几千牛顿的力,可以用于精密工作台或其他振动敏感设备的主动减振,使其成为理想的减振装置。例如,可以在机床中集成压电陶瓷致动器,以在机床的控制回路中产生反向运动,减轻振动,从而提高加工精度和工件质量。

压电陶瓷致动器的直线运动应用

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