磁流体密封装置具有长寿命、无磨损、零泄漏、无污染、可靠性优良等优势，能够满足半导体制造中高精度、高纯度、高密封性的要求

半导体磁流体密封装置又称液体O型密封圈，是指用于半导体工艺设备中的磁流体密封装置。

半导体工艺设备包括单晶硅炉、液晶再生设备、化学气相沉积设备、刻蚀设备、镀膜设备等。半导体工艺设备的工艺腔室中常设置有传动部件，为避免杂质和气体影响，半导体制造需要严格的密封环境，为确保旋转部件与腔室本体之间的密封性，需采用密封装置来实现密封作用。

磁流体密封装置具有长寿命、无磨损、零泄漏、无污染、可靠性优良等优势，能够满足半导体制造中高精度、高纯度、高密封性的要求。磁流体密封装置是半导体设备常用密封装置，此外磁流体密封装置在航天航空、真空技术、石油化工、医疗设备、新能源、深空探测等领域也有广泛应用。

磁流体密封装置通常由磁流体、永久磁铁、轴承、磁极片、可导轴或轴套、不导底座等组成。磁流体是磁流体密封装置的核心之一，由纳米级磁性颗粒、基载液和界面活性剂组成。磁流体具有磁场下迅速响应的特点，其形状、流动特性随着磁场强度、方向改变而改变。

根据新思界产业研究中心发布的《2025-2029年中国半导体磁流体密封装置市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，半导体磁流体密封装置行业技术壁垒较高，长期以来，市场一直由日美企业垄断，尤其是日本企业，包括日本Ferrotec、日本NOK、日本Rigaku等公司。我国半导体磁流体密封装置国产化起步晚，目前国产化率尚低，浙江微磁半导体科技有限公司（浙江微磁）是推动其国产替代的主要企业。

浙江微磁专业从事磁流体、磁流体真空密封件等产品的研究、开发、生产和销售，2024年7月，其“磁流体密封模组生产基地项目”开工，该项目总投资10.5亿元，将打造出磁性流体功能材料和磁流体密封模组研发、生产、销售于一体的产业基地和磁流变液减震模组生产基地；同年9月，浙江微磁成功完成数千万天使轮融资，融资将用于义乌产业基地扩产建设及磁性流体功能材料、磁流体密封模组的研发、生产、销售。

新思界行业分析人士表示，近年来，我国取得了多项半导体磁流体密封装置相关专利，如北京北方华创微电子装备有限公司的《磁流体密封装置和半导体工艺设备》、杭州维科磁电技术有限公司的《一种硅单晶炉磁流体密封装置》、无锡翔域半导体有限公司的《一种用于离子注入机的磁流体密封机构》等，这为半导体磁流体密封装置国产化发展提供了技术支撑。此外随着浙江微磁义乌产业基地扩产建设，我国半导体磁流体密封装置国产化进程将持续推进。

新思界产业研究院新思界致力做全面、专业的产业研究平台，建立以市场调查、行业研究、规划咨询等为核心的国内业务体系，以海外市场调查、海外公司选址与注册等为核心的海外业务体系为客户提供全方位的国内外产业咨询服务。

       原文标题 : 【聚焦】我国半导体磁流体密封装置国产化起步晚 浙江微磁是国内主要供应商