热式MFC/MFM，也就是热式质量流量控制器，是一种用于通过测量流体的质量流量来控制流量的设备。在终端应用中，MFC的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆，因此质量流量控制器的可靠性是许多半导体工艺的基础
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