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微纳操作系统中的微动压电钳

作为微纳操作系统中的一个末端执行机构,微动夹钳主要完成微小尺寸样品的夹取、搬运、放置与释放。压电钳通过传动机构,将电压转化为钳口的位移输出,通过钳口闭合实现微操作对象的夹持,张开实现微操作对象的释放。

微纳操作系统中的微动压电钳

芯明天研发生产的微动压电钳是由压电陶瓷叠堆驱动,采用柔性铰链机械放大结构,具有分辨率高、响应速度快、无摩擦等特点。夹持位移可达100微米,是微纳操作系统中必不可少的执行器件。

 

微纳操作系统中的微动压电钳

特点

夹持位移达100μm

亚毫秒级响应时间

谐振频率达1.5kHz

技术参数

型号:XD002-D2

运动自由度:X

行程范围(0~120V):80μm

行程范围(0~150V):100μm

推/拉力:10/1N

运动方向刚度:0.04N/μm

空载谐振频率:1500Hz

空载阶跃时间:0.7ms

空载满行程工作频率:300Hz

最大承载:0.05kg

静电容量:0.18μF

材质:不锈钢

重量:10g

驱动控制

E53.A压电控制器非常适合驱动XD-002系列微动压电钳,即可保证快速的响应时间,又可保证压电钳的工作稳定性。同时E53系列压电控制器的外形非常紧凑,体积小巧,易于集成。

微纳操作系统中的微动压电钳


定制版压电钳

夹持行程:500μm@150V

静电容量:1.6μF

空载谐振频率:180Hz

材质:钛合金

微纳操作系统中的微动压电钳

夹持行程:1000μm@150V

静电容量:3.4μF

空载谐振频率:110Hz

材质:钛合金

微纳操作系统中的微动压电钳

夹持行程:1000μm@150V

静电容量:3.6μF

空载谐振频率:90Hz

重复定位精度:0.5%F.S.

位移传感器:有

材质:钛合金

微纳操作系统中的微动压电钳


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