微纳操作系统中的微动压电钳
作为微纳操作系统中的一个末端执行机构,微动夹钳主要完成微小尺寸样品的夹取、搬运、放置与释放。压电钳通过传动机构,将电压转化为钳口的位移输出,通过钳口闭合实现微操作对象的夹持,张开实现微操作对象的释放。
芯明天研发生产的微动压电钳是由压电陶瓷叠堆驱动,采用柔性铰链机械放大结构,具有分辨率高、响应速度快、无摩擦等特点。夹持位移可达100微米,是微纳操作系统中必不可少的执行器件。
特点
夹持位移达100μm
亚毫秒级响应时间
谐振频率达1.5kHz
技术参数
型号:XD002-D2
运动自由度:X
行程范围(0~120V):80μm
行程范围(0~150V):100μm
推/拉力:10/1N
运动方向刚度:0.04N/μm
空载谐振频率:1500Hz
空载阶跃时间:0.7ms
空载满行程工作频率:300Hz
最大承载:0.05kg
静电容量:0.18μF
材质:不锈钢
重量:10g
驱动控制
E53.A压电控制器非常适合驱动XD-002系列微动压电钳,即可保证快速的响应时间,又可保证压电钳的工作稳定性。同时E53系列压电控制器的外形非常紧凑,体积小巧,易于集成。
定制版压电钳
夹持行程:500μm@150V
静电容量:1.6μF
空载谐振频率:180Hz
材质:钛合金
夹持行程:1000μm@150V
静电容量:3.4μF
空载谐振频率:110Hz
材质:钛合金
夹持行程:1000μm@150V
静电容量:3.6μF
空载谐振频率:90Hz
重复定位精度:0.5%F.S.
位移传感器:有
材质:钛合金
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