尘埃粒子计数器用于半导体集成电路生产洁净室

2020-06-29 09:58

工采网

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集成电路制造业是需要在一个超净环境中进行的，它是使用超纯材料进行超精细加工的行业。集成电路制造对洁净室环境的控制有严格的要求，不同的工艺对清洁度有不同的要求。例如，工采网还了解到光刻需要1级微环境，而化学机械抛光需要1000级环境。

半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物，比如无机离子、有机物质、微生物、气体杂质等等。另外，广义而言，不适当的温度、湿度、光照、静电超标、电磁噪声、空气噪声和微振动也是特殊的污染物。

尘埃粒子计数器用于半导体集成电路生产洁净室

其中，当颗粒杂质、无机离子、有机物质、微生物和气体杂质的含量超过一定限度时，集成电路产品会出现表面划伤、图形断裂、短路、针孔、脱皮等现象。导致电路泄漏和异常电气特性，轻则影响电路性能和使用寿命，重则导致电路报废。

通常，污染导致的电路产品故障率可能高达60％。简言之，集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而缺陷密度与空气中的粒子数有关。因此，随着集成电路的迅速发展，不仅对控制空气中颗粒的大小要求极高，而且对控制颗粒的数量也要求极高。同时，对超大规模集成电路生产环境中无尘车间项目的化学污染控制也有相关要求。

尘埃粒子计数器用于半导体集成电路生产洁净室

鉴于这种情况，就需要使用远程空气尘埃粒子计数器来对半导体集成电路生产车间的环境进行监测，保证产品生产环境达到洁净标准，对于空气尘埃粒子计数器的选择，工采网技术工程师建议使用美国 Particles Plus Inc．远程空气尘埃粒子计数器－ 5301，配置简单，可从一个仪器转移到另一个仪器，易于清洁和擦拭与最小的粒子陷阱，多功能安装选项，无缝集成到设备监控系统。