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适于光纤对接调整的六自由度压电纳米定位台

什么是六自由度压电纳米定位台?

六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。运动如下图所示。

(注:θx运动即为以X轴为中心轴的旋转运动。)

适于光纤对接调整的六自由度压电纳米定位台

六自由度压电定位台应用举例 - 光纤对接调整

光纤裸纤一般分为三层,中心高折射率真玻璃芯、中间为低折射率真硅玻璃包层、外层为加强用的树脂涂层。入射到光纤端面的光并不能全部被光纤所传输,只有在某个角度范围内的入射光才会被传输。这个角度被称为数值孔径,越大对光纤的传输越有利。

适于光纤对接调整的六自由度压电纳米定位台

光纤中传输光的中心部分和中间部分的直径一般为几十微米或百微米左右,因此在光纤的对接上,就需要达纳米级的高精度六轴调节的运动平台,以保证光纤对接的精度。光纤对接错位,会导致光传输受阻或端面局部受热等问题。

芯明天六自由度压电纳米定位台

芯明天六自由度压电纳米定位台XD801-D1是一款小体积六轴运动的压电平台,它的角度运动精度达0.1μrad,直线运动精度达0.2nm,非常适于进行纳米甚至亚纳米高精度定位调节,如六轴的光纤对接。

适于光纤对接调整的六自由度压电纳米定位台

XD801-D1六自由度定位系统

(左图:E51.D7S压电控制器,右图:XD801-D1)

如上图所示,E51.D7S压电控制器是专用于驱动XD801-D1六自由度压电定位台,两者构成一套高精度六轴压电纳米定位系统。

技术参数

型号:XD801.S-D1(闭环)、XD801.K-D1(开环)

运动自由度:X、Y、Z、θx、θy、θz

XYZ 行程范围:6 ?m@150V

θxθyθz轴偏转角度:1mrad@150V

传感器类型:SGS

闭/开环偏转分辨率:1/0.1 μrad

闭/开环直线分辨率:2/0.2 nm

闭环线性度:0.25 %F.S.

闭环重复定位精度:0.2 %F.S.

空载谐振频率:约250 Hz

空载闭环阶跃时间:约25 ms

承载能力:500 g

材质:钢、铝

重量:660g

出线长:1.5 m

传感/电压连接器:DB15-HD(针)

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