压电扫描台：基于二维压电透射式微扫描器的红外超分辨率成像
N62．XY20透射式微扫描器驱动方式
下图中，上下左右四处方框代表的是N62．XY20透射式微扫描器两个方向相对应的压电陶瓷，可以看出，它的驱动方式为差分驱动方式，每一方向都需要一个驱动电压范围在0到150V和一个恒定电压＋150V。微扫器体在零位置时，需每通道驱动电压在75V（出厂时根据位移所对应的电压确定）位置，当每通道驱动电压高于75V时，微扫器体位置向X1、Y2方向移动，当每通道驱动电压低于75V时，微扫器体位置向X2、Y1方向移动。通过外部0～5V或0～10V模拟信号输入（可自由选择），控制微扫器体整个台面进行满行程移动。
N62．XY20透射式微扫描器驱动原理图
N62．XY20透射式微扫描台技术参数
型号：N62．XY20S
运动自由度：X、Y
标称行程范围：±8μm／轴＠120V
行程范围：±10μm／轴＠150V
传感器类型：SGS
通孔尺寸：?26mm
闭／开环分辨率：1／0．5nm
闭环线性度：0．3％F．S
闭环重复定位精度：0．1％F．S
俯仰／偏航／滚动：＜10μrad
推／拉力：44／44N
运动方向刚度：2．2N／μm
空载谐振频率：2000Hz
闭／开环空载阶跃：1．5／0．7ms
空载10％行程工作频率：150Hz
承载能力：1kg
静电容量：1．6μF／轴
材质：钢、铝
重量：180g±5％
注：以上参数是采用E00／E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在－20V～150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0～120V。
芯明天具有多种透射式微扫描器，N62．XY20仅为其中一种，以下是芯明天几款透射式微扫器举例。
P12系列压电透射式微扫描器
运动自由度：XY或XYZ
行程范围：100μm／轴
中心通孔：φ25或35mm
P16系列压电透射式微扫描器
运动自由度：XY
行程范围：50或100μm／轴
中心通孔：φ20mm
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