压电扫描台:基于二维压电透射式微扫描器的红外超分辨率成像
2020-09-27 10:59
芯明天压电纳米运动
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N65系列压电透射式微扫描器
运动自由度:XY
行程范围:15μm/轴
中心通孔:25×27.5mm(似椭圆)
N12系列压电透射式微扫描器
运动自由度:XY或XYZ
行程范围:100μm/轴
中心通孔:45×45mm
XD102系列压电透射式微扫描器
运动自由度:XY
行程范围:17μm/轴
中心通孔:φ10mm

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