压电扫描台：基于二维压电透射式微扫描器的红外超分辨率成像
2020-09-27 10:59
芯明天压电纳米运动
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N65系列压电透射式微扫描器
运动自由度：XY
行程范围：15μm／轴
中心通孔：25×27．5mm（似椭圆）
N12系列压电透射式微扫描器
运动自由度：XY或XYZ
行程范围：100μm／轴
中心通孔：45×45mm
XD102系列压电透射式微扫描器
运动自由度：XY
行程范围：17μm／轴
中心通孔：φ10mm
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